干式真空泵可以分为几类?
在外部压缩型螺杆式设计中,使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到小,同时使得气体通路较短也较简单。这样,气体在泵体内停留的时间也较短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高,但在很多复杂的半导体工艺中表现出较高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。
除了使用一对非等距螺杆以外,内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中,尚义真空泵维修,这种内部压缩同多级泵一样,较易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。
真空泵工艺介质注入点不合理的因素
在真空泵**道法兰前吸入气体的温度为238℃。**道法兰到机器的转子间距不**过400mm,而气体的流速又很快,时间较短,要将工艺气从238℃降到4.8℃,达到真空泵入口温度的要求,工艺设计是在泵的入口法兰加上一个1寸管喷头,达到降温目的。注入量由管路上的控制阀来调节。这样存在两个问题:一是注入点设计不合理,造成降温时间短,德国普旭真空泵维修,泵的吸入温度难以保证;二是控制阀一旦出现故障,德国贝克真空泵维修,就会造成设备工作温度升高,专业真空泵维修,结果泵发生故障。
另外在真空泵损毁前,转子与转子和转子与壳体的接触相磨经历过较长的时间。期间有温度异常、声音异常和振动加大的现象发生,若巡检人员注意,也可避免事故的发生。