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                                                       干式真空泵可以分为几类？

双圆裂片式真空泵设计和目前流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些较早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂，并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到好的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，凯尼真空泵维修，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。

　　三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同，它只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是象双圆裂片式设计分为两份。三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力下降。同双圆裂片式设计一样，三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气起到稀释作用。

　　组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率，用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其较后一级改为星型设计，这样可以在旋转一圈中将气体分为五份，就象三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样，在很多工艺中，组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。